什么是cvd粉尘排气
回答如下：CVD粉尘排气是指化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，简称CVD）过程中产生的粉尘、废气等排放物。CVD是一种利用化学反应在固体表面上形成薄膜的技术，常用于制备半导体器件和涂层材料。
CVD工艺中需要使用高温、高压、有机气体等条件，因此排放出的废气中可能含有有害物质，需要进行处理或净化。
要看是什么厂房制程，如果是光电厂的通常指的是制程设备的CVD制程设备的燃烧后尾气CVD废气（粉尘六氟化硅），由于燃烧时需要空气补偿所以就有了CVD外气（补偿SCR空气）！
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